Theo Quyết định, đối tượng áp dụng gồm: Các xã, phường, thị trấn (xã) có tỷ lệ số hộ dân tộc thiểu số trong tổng số hộ dân sinh sống ổn định thành cộng đồng từ 15% trở lên; các thôn, bản, làng, phum, sóc, xóm, ấp, khu dân cư, tổ dân phố và tương đương (thôn) có tỷ lệ số hộ dân tộc thiểu số trong tổng số hộ dân sinh sống ổn định thành cộng đồng từ 15% trở lên.
Về tiêu chí xác định xã khu vực III – khu vực đặc biệt khó khăn
Theo Điều 3 của Quyết định, xã khu vực III thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi là xã thuộc đối tượng trên chưa được công nhận đạt chuẩn nông thôn mới và có 01 trong 02 tiêu chí sau:
Có tỷ lệ hộ nghèo từ 20% trở lên (riêng các xã thuộc khu vực Đồng bằng sông Cửu Long có tỷ lệ hộ nghèo từ 15% trở lên hoặc có trên 150 hộ nghèo là hộ dân tộc thiểu số). 
Có tỷ lệ hộ nghèo từ 15% đến dưới 20% (riêng các xã thuộc khu vực Đồng bằng Sông Cửu Long có tỷ lệ hộ nghèo từ 12% đến dưới 15%) và có 01 trong các tiêu chí sau:
Có trên 60% tỷ lệ hộ nghèo là hộ dân tộc thiểu số trong tổng số hộ nghèo của xã;
Có số người dân tộc thiểu số trong độ tuổi từ 15 đến 60 chưa biết đọc, biết viết tiếng phổ thông từ 20% trở lên;
Số lao động có việc làm nhưng chưa qua đào tạo từ 3 tháng trở lên chiếm trên 80% tổng số lao động có việc làm;
Đường giao thông từ trung tâm huyện đến trung tâm xã dài trên 20 km, trong đó có trên 50% số km chưa được rải nhựa hoặc đổ bê-tông.
Về tiêu chí xác định xã khu vực I – xã bước đầu phát triển và khu vực II – xã còn khó khăn
Xã khu vực I thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi là xã thuộc đối tượng áp dụng quy định ở trên và có 01 trong 02 tiêu chí sau: Có tỷ lệ hộ nghèo dưới 10%; Đã được công nhận đạt chuẩn nông thôn mới.
Xã khu vực II thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi là các xã còn lại sau khi đã xác định các xã khu vực III và xã khu vực I.
Về tiêu chí xác định thôn đặc biệt khó khăn
Quyết định quy định thôn đặc biệt khó khăn thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi là thôn thuộc đối tượng áp dụng ở trên và có 01 trong 02 tiêu chí sau:
Có tỷ lệ hộ nghèo từ 20% trở lên (riêng đối với khu vực Đồng bằng sông Cửu Long có tỷ lệ hộ nghèo từ 15% trở lên hoặc có trên 30 hộ nghèo là hộ dân tộc thiểu số nghèo).
Có tỷ lệ hộ nghèo từ 15% đến dưới 20% (riêng khu vực Đồng bằng Sông Cửu Long có tỷ lệ hộ nghèo từ 12% đến dưới 15%) và có 01 trong các tiêu chí sau:
Có trên 60% tỷ lệ hộ nghèo là hộ dân tộc thiểu số trong tổng số hộ nghèo của thôn;
Chưa có đường từ thôn đến trung tâm xã hoặc có đường nhưng đi lại rất khó khăn, nhất là mùa mưa;
Chưa có điện lưới quốc gia hoặc đã có nhưng trên 30% số hộ chưa được sử dụng điện lưới quốc gia.
Quy trình, thủ tục và thời gian xác định xã khu vực III, II, I và thôn đặc biệt khó khăn thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi
Đối với cấp xã: Ủy ban nhân dân cấp xã căn cứ các tiêu chí quy định tại các Điều 2, 3, 4, 5, 6 của Quyết định này để xác định xã khu vực III, II, I và thôn đặc biệt khó khăn thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi theo trình độ phát triển; lập báo cáo kết quả xác định gửi Ủy ban nhân dân cấp huyện trong thời hạn 15 ngày làm việc kể từ ngày Ủy ban nhân dân cấp huyện chỉ đạo triển khai, tổ chức thực hiện.
Đối với cấp huyện: Sau khi nhận đủ hồ sơ của các xã, Ủy ban nhân dân cấp huyện chỉ đạo tổng hợp, rà soát, kiểm tra và lập báo cáo gửi Ủy ban nhân dân cấp tỉnh về kết quả xác định các xã khu vực III, II, I và thôn đặc biệt khó khăn trong thời hạn 30 ngày làm việc kể từ ngày Ủy ban nhân dân cấp tỉnh chỉ đạo triển khai, tổ chức thực hiện.
Cấp tỉnh: Sau khi nhận đủ hồ sơ của các huyện, Ủy ban nhân dân cấp tỉnh chỉ đạo tổ chức rà soát, thẩm định và hoàn thiện hồ sơ gửi Ủy ban Dân tộc trong thời hạn 45 ngày làm việc kể từ ngày nhận được văn bản chỉ đạo triển khai thực hiện của Cơ quan trung ương.
Cấp Trung ương: Ủy ban Dân tộc tổng hợp, tổ chức thẩm định, quyết định phê duyệt danh sách các thôn đặc biệt khó khăn và báo cáo Thủ tướng Chính phủ xem xét, quyết định phê duyệt danh sách các xã khu vực III, II, I thuộc vùng đồng bào dân tộc thiểu số và miền núi trong thời hạn 45 ngày làm việc kể từ ngày nhận đầy đủ hồ sơ của Ủy ban nhân dân cấp tỉnh.
Quyết định số 33/2020/QĐ-TTg thay thế Quyết định số 50/2016/QĐ-TTg ngày 03/11/2016 của Thủ tướng Chính phủ về tiêu chí xác định thôn đặc biệt khó khăn, xã thuộc vùng dân tộc thiểu số và miền núi giai đoạn 2016 - 2020.